皇冠体肓官网，ASML 荷兰有限公司申请量测装置及其相位调制器设备专利实现对输入辐射调制的优化

　　金融界 2024 年 11 月 30 日消息，国家知识产权局信息显示，ASML 荷兰有限公司申请一项名为“量测装置及其相位调制器设备”的专利，公开号 CN 119045180 A ，申请日期为 2020 年 7 月。

　　专利摘要显示皇冠体肓官网，，本发明公开了一种量测装置，其包括用于调制输入辐射的相位调制器设备，相位调制器设备包括至少一个第一相位调制器。第一相位调制器包括：第一移动光栅，该第一移动光栅处于至少一种操作状态，用于衍射输入辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移；以及第一补偿光栅元件，包括节距，该节距被配置为补偿所述经衍射辐射的至少一个衍射阶的波长相关色散。

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