皇冠体肓官网，应用材料公司申请用于测量加热器基座上的基板的放置的专利确定传感器晶片相对于基座的位置

　　金融界2024年11月28日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于测量加热器基座上的基板的放置的方法和设备”的专利，公开号CN 119028875 A，申请日期为2019年8月。

　　专利摘要显示，此处公开的实施例包含一种确定传感器晶片相对于基座的位置的方法。在实施例中皇冠体肓官网，，该方法包括以下步骤：将传感器晶片放置于该基座上，其中该传感器Wafer包括由该基座支撑的第一表面、与该第一表面相对的第二表面、及将该第一表面连接至该第二表面的边缘表面，其中在该边缘表面上形成多个传感器区域，且其中该基座包括主要表面及环绕该传感器Wafer的环状壁。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：确定该多个传感器区域的每一者与该环状壁之间的间隙距离。在实施例中皇冠体肓官网，，该方法可进一步包括以下步骤：从间隙距离确定该传感器Wafer的中心点相对于该环状壁的中心点的中心点偏移。

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